净化空气调节体系如需电加热时，应选用管状电加热器，方位应安置在---空气过滤器的上风侧，并应有防火安全办法。送风机可按净化空气调节体系的总送风量和总阻力值进行选择，中效、---空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。净化车间中净化空气调节体系除直流式体系和设置值班风机的体系外，应采取防止室外污染空气通过新风口参入净化车间内的防灌倒办法。净化车间空气调节体系设计应合理使用回风，凡工艺进程发生大量---且部分处理不能满意卫生要求，或对其他工序有危害时，则不应用回风。
在10万级净化车间中，允许粉尘颗粒数为0.5百万或以上的颗粒数量不得超过350万颗，半导体净化工程厂家，颗粒数大于或等于5微米的颗粒数不得超过20，000颗。0.5微米的概念是什么？发束的直径约为70-100微米，---的大小约为1微米至2微米。通过净化空气系统，大于或等于5微米的颗粒数量不应超过20，000。所以10万级净化车间的净化程度非常高。
与净化车间维护结构相连的设备或其排风、排水管道在必须与维护结构同时施工安装时，与维护结构连接的接缝应采取密封措施，做到严密而清洁，设备或其管道的送、回、排风口应暂时封闭，每台设备安装完毕后，无尘车间投入使用前，均应将设备的送、回、排风口封闭；凡有机械联锁或电气联锁的设备，安装调试后应---连锁处于正常状态；凡有风机的设备，安装完毕后风机应进行试运转，试运转时叶轮旋转方向必须正确，试运转时间按设备的技术文件要求确定，当无规定时，则不应少于2h；净化空调设备与无尘车间维护结构相连的接缝必须密封。
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